吉致jeez浅槽隔离抛光液/sti抛光液/浅沟槽隔离化学机械抛光液

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  • 主营产品| 氧化铝抛光液,氧化硅抛光液,氧化铈抛光液,金刚石抛光液,抛光垫
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无锡吉致电子科技有限公司提供吉致jeez浅槽隔离抛光液/sti抛光液/浅沟槽隔离化学机械抛光液。

吉致25年研发生产——浅槽隔离抛光液/sti slurry抛光液/浅沟槽隔离化学机械抛光液/浅沟槽隔离slurry/浅槽隔离研磨抛光液/sti 浅槽隔离平坦化抛光液slurry/浅沟槽隔离抛光液抛光浆料slurry

产品简介:sti slurry 适用于集成电路当中的铜互连工艺制程中铜的去除和平坦化。

具有高的铜去除速率,碟型凹陷可调,低缺陷等特性。可应用于逻辑芯片以及3d nand和dram芯片等量产使用。清除集成电路中铜抛光后表面的抛光颗粒和化学物残留,以防铜表面腐蚀,降低表面缺陷。
可定制化:我们的抛光液可以根据客户需求定制不同的ph、粒径、浓度、稳定离子等。
包裝方式:25kg/桶(也可依客户需求)
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